Komplette GasversorgungssystemeAlles aus einer Hand
Linde kennt und beherrscht die Eigenschaften der Gase und die daraus resultierenden Anforderungen an die Ausrüstung und kann deshalb optimale Gesamtlösungen anbieten.
Problemlösungen
Vor Ort werden die Kundenwünsche und -vorstellungen aufgenommen. Auf Basis der kundenspezifischen Gegebenheiten wird ein Konzept entwickelt und dem Auftraggeber in Form eines Angebotes unterbreitet. Sind mehrere Lösungsvarianten möglich, so wird gemeinsam mit dem Anwender die optimale Lösung herausgearbeitet.
Linde liefert schlüsselfertige Anlagen für nahezu alle Anwendungen in Forschung, Entwicklung und Produktion.
Unsere Leistungen:
- Beratung
- Konzeptentwicklung
- Planung
- Projektierung
- Montage
- Inbetriebnahme
- Dokumentation
- Service
Komplette Gasversorgungssysteme - Für jede Anwendung die richtige Ausrüstung
Gasart und benötige Reinheit sind durch die Anwendung vorgegeben. Davon ausgehend sind entsprechende Anforderungen an die Gasversorgung zu stellen. Bei der Planung werden Art und Beschaffenheit der Ausrüstung durch unsere Ingenieure so spezifiziert, daß ein Optimum hinsichtlich Sicherheit, Wirtschaftlichkeit und Erfüllung der anwendungsspezifischen Anforderungen erreicht wird. Im folgenden wird anhand von typischen Komponenten eines Spezialgase-Versorgungssystems gezeigt, wie sich dessen Spezifikation bei unterschiedlichen Anforderungen darstellt.
Versorgungsanlagen für technische Gase werden hier nicht behandelt. Zur Auswahl von Einzelkomponenten hierfür siehe unsere Broschüre "Zentrale Gaseversorgung".
| Ausführung der Komponenten in Spezialgase-Versorgungssystemen |
| Gasreinheit | Klasse 5.0 | Klasse 6.0 | Klasse 6.0 und höher sowie Halbleiter-prozeßgase |
| Druckminderer | Werkstoff Messing oder Edelstahl spezialgereinigt,
He-Leckrate < 10-7 mbar l/s, Membran aus Elastomer oder metallischem Werkstoff | Werkstoff vorwiegend Edelstahl spezialgereinigt, He-Leckrate < 10-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl | Werkstoff Edelstahl elektropoliert, hohe Oberflächengüte,
He-Leckrate < 10-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl, minimierter Totraum, buntmetallfrei, im Reinraum montiert, geringste Partikelemission |
| Ventile | Membranabdichtung, selten Stopfbuchspackung oder
O-Ring-Dichtung | Membranabdichtung Faltenbalgabdichtung | Membranabdichtung, Faltenbalgabdichtung, elektropoliert, minimierter Totraum |
| | Werkstoff Kupfer oder Edelstahl spezialgereinigt | Werkstoff Edelstahl spezialgereinigt oder elektropoliert | Werkstoff Edelstahl elektropoliert |
Rohrver-
bindungen | flußmittelfrei hartgelötet orbitalgeschweißt | orbitalgeschweißt | orbitalgeschweißt |
| Lösbare Verbindungen | metallisch dichtende Klemmringver-schraubungen | metallisch dichtende Klemmringverschraubungen
metallisch dichtende VCR-Verschraubungen | metallisch dichtende VCR-Verschraubungen |
Anwendungs-
beispiele | Gasversorgung für allgemeinen Laborbedarf, von Gasanalysatoren, Produktionsanlagen mit hochwertigen Betriebsgasen, z.B. CO2-Lasern, zur Lampenherstellung, Erzeugung von Spezialkeramik und Sondermetallen | Gasversorgung für Laborbedarf mit hohen Gasreinheiten, von Gasanalysatoren mit Prüfgasen im ppm-Bereich und/oder korrosiven Beimengungen, von Produktionsanlagen mit Gasen und Gasgemischen höchster Reinheit, z.B. Excimer-Lasern, zur Herstellung von Lichtwellenleitern, von diskreten Bauelementen und weniger hochintegrierten Schaltkreisen. | Gasversorgung für
F + E mit extremen Gasreinheiten, z.B. in der Mikroelektronik, von Produktions-anlagen mit Gasen und Gasgemischen extremer Reinheit sowie mit korrosiven und toxischen Prozeßgasen, z.B. für höchstintegrierte Schaltkreise, Sensoren, Solarzellen |
|
|
|
