Komponenten

Komplette Versorgungssysteme für Spezialgase bestehen in der Regel aus den nachfolgend aufgeführten Komponenten:

Gasflaschenschränke mit Druckmindererstationen (1. Druckstufe)
Rohrleitungen
Absperr-, Regel- und Sicherheitsarmaturen
Entnahmestellen (2. Druckstufe)

Je nach Anwendung und Kundenwunsch können zusätzlich weitere Komponenten integriert werden:

Prozeß- und Spülgastableaus
Partikelfilter
Gasnachreinigungssysteme
Gasmischsysteme
Gasverdünnungssysteme
Meß- und Überwachungssysteme für
Abgasreinigung
Signal- und Steuersysteme zur Notabschaltung der
Gasversorgung bei sicherheitsrelevanten Störungen
Meß- und Regelsysteme für Druck, Volumen- und Massenstrom
Speicherprogrammierbare Steuerungen (SPS) für automatische Gasflaschenschränke und Sonderanlagen
Monitoringsysteme zur kontinuierlichen Qualitätsüberwachung und Dokumentation
PC-gestützte Gasmanagementsysteme.

Komponenten - Komponenten

Ausführung der Komponenten in Spezialgase-Versorgungssystemen
Gasreinheit	Klasse 5.0	Klasse 6.0	Klasse 6.0 und höher sowie Halbleiter-prozeßgase
Druckminderer	Werkstoff Messing oder Edelstahl spezialgereinigt, He-Leckrate< 10^-7 mbar l/s, Membran aus Elastomer oder metallischem Werkstoff	Werkstoff vorwiegend Edelstahl spezialgereinigt, He-Leckrate< 10^-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl	Werkstoff Edelstahl elektropoliert, hohe Oberflächengüte, He-Leckrate< 10^-9 mbar l/s, Membran aus Edelstahl, minimierter Totraum, buntmetallfrei, im Reinraum montiert, geringste Partikelemission
Ventile	Membranabdichtung, selten Stopfbuchspackung oder O-Ring-Dichtung	Membranabdichtung Faltenbalgabdichtung	Membranabdichtung, Faltenbalgabdichtung, elektropoliert, minimierter Totraum
	Werkstoff Kupfer oder Edelstahl spezialgereinigt	Werkstoff Edelstahl spezialgereinigt oder elektropoliert	Werkstoff Edelstahl elektropoliert
Rohrver- bindungen	flußmittelfrei hartgelötet orbitalgeschweißt	orbitalgeschweißt	orbitalgeschweißt
Lösbare Verbindungen	metallisch dichtende Klemmringverschraubungen	metallisch dichtende Klemmringverschraubungen metallisch dichtende VCR-Verschraubungen	metallisch dichtende VCR-Verschraubungen
Anwendungs- beispiele	Gasversorgung für allgemeinen Laborbedarf, von Gasanalysatoren, Produktionsanlagen mit hochwertigen Betriebsgasen, z.B. CO₂-Lasern, zur Lampenherstellung, Erzeugung von Spezialkeramik und Sondermetallen	Gasversorgung für Laborbedarf mit hohen Gasreinheiten, von Gasanalysatoren mit Prüfgasen im ppm-Bereich und/oder korrosiven Beimengungen, von Produktionsanlagen mit Gasen und Gasgemischen höchster Reinheit, z.B. Excimer-Lasern, zur Herstellung von Lichtwellenleitern, von diskreten Bauelementen und weniger hochintegrierten Schaltkreisen.	Gasversorgung für F + E mit extremen Gasreinheiten, z.B. in der Mikroelektronik, von Produktions-anlagen mit Gasen und Gasgemischen extremer Reinheit sowie mit korrosiven und toxischen Prozeßgasen, z.B. für höchstintegrierte Schaltkreise, Sensoren, Solarzellen