Zentrale Gaseversorung

Linde plant und erstellt komplette Versorgungssysteme. Diese können als Standardanlagen für häufig anzutreffende, gleichartige Anwendungen oder als maßgeschneiderte Lösungen für Spezialaufgaben ausgeführt sein.

Standardanlagen

Beispiele für bewährte Standardanlagen sind die zentrale Gasversorgung von Gaschromatographen, besonders für die ECD-Analytik, und von Excimer-Lasern.

ECD-Analytik wird eingesetzt, wenn Spuren von Halogenverbindungen gemessen werden sollen. In der Gasversorgungseinrichtung dürfen deshalb nur Werkstoffe verwendet werden, die mit Sicherheit frei von Halogenverbindungen sind. Außerdem muß sichergestellt sein, daß für Reinigungsschritte im Laufe der Fertigung und Montage der einzelnen Bauteile nur FCKW-freie Reinigungsmittel verwendet werden.

Für Excimer-Laser werden Betriebsgase mit Anteilen von Fluor oder Chlorwasserstoff im Prozentbereich eingesetzt. Diese hochtoxischen und korrosiven Gase erfordern eine Konzeption der Versorgungsanlage, die der Werkstoffverträglichkeit und der Sicherheitstechnik in besonderem Maße Rechnung trägt. So werden unsere Standard-Versorgungsanlagen für Excimer-Laser mit einem Trockenfilter zum Korrosionsschutz (Option), speziellen Sicherheitsarmaturen sowie einem Abgasreinigungssystem ausgerüstet.