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Trifluormethan 5.0 (R 23)
| Nebenbestandteile Trifluormethan 5.0 (R 23), ppm: | | H2O |  | 1 | | O2 + N2 | | 3 | | CO | | 1 | | CO2 | | 3 | | andere hal. KW | | 5 | | Säure | | 0,1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Umrechnungszahlen Trifluormethan |
m³ Gas
(15 °C, 1 bar) | Liter
flüssig bei Ts | kg | | 1 | 2,049 | 2,949 | | 0,488 | 1 | 1,439 | | 0,339 | 0,695 | 1 |
| Kennzeichnung Trifluormethan 5.0 (R 23) | | Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 | | Aufkleber: | Trifluormethan 5.0
| Ventilanschluss:
| W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
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| Eigenschaften Trifluormethan | Unter Druck verflüssigtes Gas, erstickend
| | | AWG-Wert: | nicht festgelegt | | Chemisches Zeichen: | CHF3 | | Molare Masse: | 70.010 g/mol | | Kritische Temperatur: | 299.15 K (26 °C) | | Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 190.97 K (-82.18 °C) | | Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 2.438 |
| Anwendungen Trifluormethan 5.0 (R 23) | | Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4). |
Gemische von Trifluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
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