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Silan 5.0


	Reinheit, %:	> 99,999 (exkl. Wasserstoff) spez. Widerstand > 2000 Ohmcm


	Download:	Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblätter im Kundenportal Linde Gas DIREKT

	Angebot:	Angebot anfordern

Nebenbestandteile Silan 5.0, ppm:
H₂O		1
O₂		1
N₂		3
CO + CO₂		1
KW		0,5
Chlorsilane		0,5
H₂		50
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung
Zu diesem Produkt ist eine Konformitätserklärung in unserem Kundenportal unter http://www.linde-gas.de/direkt online verfügbar.

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Silan 5.0
	Rauminhalt, Liter	Füll- druck, ca. bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	48	0,2
Stahlflasche	10	48	1
Stahlflasche	50	100	16
Stahlflasche	50	48	5
Lieferhinweise:	abweichende Behältermaterialien (Aluminium-Legierung oder Edelstahl) und Füllmengen auf Anfrage lieferbar

Umrechnungszahlen Silan

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	2,428	1,35
0,412	1	0,556
0,741	1,799	1

Kennzeichnung Silan 5.0
Flaschenschulter:	Rot RAL 3000
Aufkleber:	Silan 5.0
Ventilanschluss:	W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1

Eigenschaften Silan
Verdichtetes Gas, hochentzündlich, selbstentzündlich an der Luft
AWG-Wert:	5 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:	SiH₄
Molare Masse:	32.118 g/mol
Kritische Temperatur:	269.65 K (-3.5 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	161.75 K (-111.4 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	1.120

Anwendungen Silan 5.0

Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
CVD von Siliciumoxid- und Siliciumnitrid-Schichten
Abscheidung von polykristallinem und amorphem Silicium (CVD)

Andere Lieferformen Silan
Silane 5.7

Gemische von Silan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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