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Phosphin 5.0

  

Reinheit, %:

 > 99,999
  
  
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Nebenbestandteile Phosphin 5.0, ppm:
H2O1
O21
N23
CO1
CO21
KW2
AsH32


Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung

Zu diesem Produkt ist eine Konformitätserklärung in unserem Kundenportal unter http://www.linde-gas.de/direkt online verfügbar.



Empfohlene Armaturen:
auf Anfrage

Lieferarten Phosphin 5.0
Rauminhalt, Liter
Dampfdruck bei 20°C, bar 
Füllmenge, kg		  
Stahlflasche 2   34,6  0,3 
Stahlflasche 10   34,6  1 


Umrechnungszahlen Phosphin
m³ Gas
(15 °C, 1 bar)		Liter
flüssig bei Ts		kg
11,9351,432
0,51710,74
0,6981,3511



Kennzeichnung Phosphin 5.0
Flaschenschulter: Gelb RAL 1018
Aufkleber: Phosphin 5.0
Ventilanschluss:
W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1


Eigenschaften Phosphin
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, ätzend, sehr giftig, selbstentzündlich an der Luft

 hochentzündlich umweltgefährlich ätzend sehr  
AWG-Wert:0.1 ppm
Chemisches Zeichen:PH3
Molare Masse:

33.998 g/mol

Kritische Temperatur:325.05 K (51.9 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts):185.4 K (-87.77 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): 1.180

Anwendungen Phosphin 5.0
  • Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bervorzugt Gemische mit H2, Ar, He oder N2 verwendet (Dotiergasgemische)
  • Dotierung von Si und SiO2 während der Abscheidung (CVD)
  • Herstellung von GaP, GaAsP oder InP Halbleitern

Andere Lieferformen Phosphin


Gemische von Phosphin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.


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