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Hexafluorethan 3.5 (R 116)
| Nebenbestandteile Hexafluorethan 3.5 (R 116), ppm: | | H2O |  | 5 | | O2 + N2 | | 300 | | andere hal. KW | | 200 | | Säure | | 1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Umrechnungszahlen Hexafluorethan |
m³ Gas
(15 °C, 1 bar) | Liter
flüssig bei Ts | kg | | 1 | 3,625 | 5,829 | | 0,276 | 1 | 1,608 | | 0,172 | 0,622 | 1 |
| Kennzeichnung Hexafluorethan 3.5 (R 116) | | Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 | | Aufkleber: | Hexafluorethan 3.5
| Ventilanschluss:
| W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
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| Eigenschaften Hexafluorethan | Verdichtetes Gas, erstickend
| | | MAK-Wert: | nicht festgelegt | | Chemisches Zeichen: | C2F6 | | Molare Masse: | 138.01 g/mol | | Kritische Temperatur: | 292.85 K (19.7 °C) | | Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 194.95 K (-78.2 °C) | | Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 4.817 |
| Anwendungen Hexafluorethan 3.5 (R 116) | - Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4, Ti)
- Reinigen von CVD-Kammern
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Gemische von Hexafluorethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
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