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Disilan 4.8
| Nebenbestandteile Disilan 4.8, ppm: | | H2O |  | 1 | | O2 | | 1 | | N2 | | 4 | | Chlorsilane | | 0,2 | | CO2 | | 1 | | KW | | 1 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Umrechnungszahlen Disilan |
m³ Gas
(15 °C, 1 bar) | Liter
flüssig bei Ts | kg | | 1 | 2,957 | 2,664 | | 0,338 | 1 | 0,901 | | 0,375 | 1,11 | 1 |
| Kennzeichnung Disilan 4.8 | | Flaschenschulter: | Rot RAL 3000 | | Aufkleber: | Disilan 4.8
| Ventilanschluss:
| W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1
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| Anwendungen Disilan 4.8 | - Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
- Niedertemperatur-CVD
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| Andere Lieferformen Disilan |
Gemische von Disilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
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