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Dichlorsilan 3.0


	Reinheit, %:	> 99,9 spez. Widerstand > 150 Ohmcm


	Download:	Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblätter im Kundenportal Linde Gas DIREKT

	Angebot:	Angebot anfordern

Nebenbestandteile Dichlorsilan 3.0, ppm:
andere Chlorsilane		0,1 %*
C		1 ppm*
Fe		25 ppb*
B		0,1 ppb*
P		0,2 ppb*
As		0,3 ppb*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Dichlorsilan 3.0
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	1,6	1,5
Edelstahlflasche	10	1,6	9
Edelstahlflasche	47	1,6	42
Lieferhinweise:	* Massenanteile

Umrechnungszahlen Dichlorsilan

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	3,487	4,397
0,287	1	1,261
0,227	0,793	1

Kennzeichnung Dichlorsilan 3.0
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Dichlorsilan 3.0
Ventilanschluss:	1 LH nach DIN 477 Nr. 5

Eigenschaften Dichlorsilan
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, ätzend, giftig
MAK-Wert:	5 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:	SiH₂Cl₂
Molare Masse:	101.01 g/mol
Kritische Temperatur:	449.45 K (176.3 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	281.55 K (8.4 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	3.630

Anwendungen Dichlorsilan 3.0

Siliciumabscheidung in CVD-Prozessen (z.B. Epitaxie).

Andere Lieferformen Dichlorsilan
Dichlorsilan 2.0

Gemische von Dichlorsilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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