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Chlorwasserstoff 4.5
| Nebenbestandteile Chlorwasserstoff 4.5, ppm: | | H2O |  | 2 | | O2 | | 5 | | N2 | | 10 | | CO | | 2 | | CO2 | | 40 | | KW | | 2 |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Umrechnungszahlen Chlorwasserstoff |
m³ Gas
(15 °C, 1 bar) | Liter
flüssig bei Ts | kg | | 1 | 1,29 | 1,536 | | 0,775 | 1 | 1,191 | | 0,651 | 0,84 | 1 |
| Kennzeichnung Chlorwasserstoff 4.5 | | Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 | | Aufkleber: | Chlorwasserstoff 4.5
| Ventilanschluss:
| 1 nach DIN 477 Nr. 8
Fass: DISS 634 Pneumatik
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| Anwendungen Chlorwasserstoff 4.5 | - Trockenätzen von Halbleitermaterialien (z.B. Plasmaätzen von Al, GaAs)
- Reaktives Gas bei der Oxidation von Silicium
- Reinigen von Reaktoren
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Gemische von Chlorwasserstoff mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen, z.B. für Excimer-Laser.
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