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Chlor 5.0
| Nebenbestandteile Chlor 5.0, ppm: | | H2O |  | 1 | | O2 | | 1 | | N2 | | 2 | | CO | | 1 | | CO2 | | 5 | | KW | | 1 | | Fe | | 0,5* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Lieferarten Chlor 5.0 |
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Rauminhalt, Liter |
Dampfdruck bei 20°C, bar |
Füllmenge, kg | | Lieferhinweise: | * Massenanteile
** Edelstahl-Niederdruckflasche |
m³ Gas
(15 °C, 1 bar) | Liter
flüssig bei Ts | kg | | 1 | 1,924 | 3,007 | | 0,52 | 1 | 1,563 | | 0,333 | 0,64 | 1 |
| Kennzeichnung Chlor 5.0 | | Flaschenschulter: | Gelb RAL 1018 | | Aufkleber: | Chlor 5.0
| Ventilanschluss:
| 1 nach DIN 477 Nr. 8
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| Anwendungen Chlor 5.0 | - Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Au, Si, GaAs)
- Produktion von Glasfasern
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Gemische von Chlor mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
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