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Bortrichlorid 5.0


	Reinheit, %:	> 99,999


	Download:	Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblätter im Kundenportal Linde Gas DIREKT

	Angebot:	Angebot anfordern

Nebenbestandteile Bortrichlorid 5.0, ppm:
O₂		1
N₂		2
CO		1
CO₂		5
KW		1
Fe		0,2*
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung
Zu diesem Produkt ist eine Konformitätserklärung in unserem Kundenportal unter http://www.linde-gas.de/direkt online verfügbar.

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Bortrichlorid 5.0
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	1,6	2
Edelstahlflasche	10	1,6	10
Edelstahlflasche	47	1,6	50
Lieferhinweise:	* Massenanteile

Umrechnungszahlen Bortrichlorid

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	3,65	4,913
0,274	1	1,346
0,204	0,743	1

Kennzeichnung Bortrichlorid 5.0
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Bortrichlorid 5.0
Ventilanschluss:	1 nach DIN 477 Nr. 8

Eigenschaften Bortrichlorid
Unter Druck verflüssigtes Gas, sehr giftig, ätzend
AWG-Wert:	nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:	BCl₃
Molare Masse:	117. 2 g/mol
Kritische Temperatur:	451.95 K (178.8 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	285.65 K (12.5 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	4.062

Anwendungen Bortrichlorid 5.0

Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Si)
Dotierung von Silicium und Germanium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation

Andere Lieferformen Bortrichlorid
Bortrichlorid 4.0

Gemische von Bortrichlorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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