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Bortrichlorid 2.8


	Reinheit, %:	> 99,8


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Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Bortrichlorid 2.8
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	1,6	2
Stahlflasche	10	1,6	10
Stahlflasche	50	1,6	50

Umrechnungszahlen Bortrichlorid

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	3,65	4,913
0,274	1	1,346
0,204	0,743	1

Kennzeichnung Bortrichlorid 2.8
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Bortrichlorid 2.8
Ventilanschluss:	1 nach DIN 477 Nr. 8

Eigenschaften Bortrichlorid
Unter Druck verflüssigtes Gas, sehr giftig, ätzend
MAK-Wert:	nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:	BCl₃
Molare Masse:	117. 2 g/mol
Kritische Temperatur:	451.95 K (178.8 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	285.65 K (12.5 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	4.062

Anwendungen Bortrichlorid 2.8

Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von Al, Si)
Dotierung von Silicium und Germanium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation

Andere Lieferformen Bortrichlorid
Bortrichlorid 4.0		Bortrichlorid 5.0

Gemische von Bortrichlorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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