Arsin 5.0


	Reinheit, %:	> 99,999


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Nebenbestandteile Arsin 5.0, ppm:
O₂		1
N₂		3
H₂O		2
KW		1
CO		1
CO₂		1
PH₃		0,1
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Arsin 5.0
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	15	0,3
Stahlflasche	10	15	1
Lieferhinweise:	vom Standard abweichende Behälter sowie Behälter für Gemische auf Anfrage lieferbar

Umrechnungszahlen Arsin

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	1,991	3,253
0,502	1	1,634
0,307	0,612	1

Kennzeichnung Arsin 5.0
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Arsin 5.0
Ventilanschluss:	W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1

Eigenschaften Arsin
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, sehr giftig
MAK-Wert:	0,05 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:	AsH₃
Molare Masse:	77.950 g/mol
Kritische Temperatur:	373.05 K (99.9 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	210.67 K (-62.48 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	2.688

Anwendungen Arsin 5.0

Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bevorzugt Gemische mit H₂, Ar, He oder N₂ verwendet (Dotiergasgemische).

Andere Lieferformen Arsin

Gemische von Arsin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.