Hexafluor-1,3-butadien 2.6


	Reinheit, %:	> 99,6


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Nebenbestandteile Hexafluor-1,3-butadien 2.6, ppm:
H₂O		1000
O₂		100
N₂		500
andere hal. KW		1500
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung
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Lieferarten Hexafluor-1,3-butadien 2.6
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	1.8	2
Stahlflasche	10	1.8	10

Umrechnungszahlen Hexafluor-1,3-butadien

Kennzeichnung Hexafluor-1,3-butadien 2.6
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Hexafluor-1,3-butadien 2.6
Ventilanschluss:	W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr.1

Eigenschaften Hexafluor-1,3-butadien
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, giftig
AWG-Wert:	nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:	C₄F₆
Molare Masse:	162.03 g/mol
Kritische Temperatur:	412.75 K (139.6 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	279.15 K (6 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	5.6

Anwendungen Hexafluor-1,3-butadien 2.6

Trockenätzen von Halbleitermaterialien

Andere Lieferformen Hexafluor-1,3-butadien

Gemische von Hexafluor-1,3-butadien mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen