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Tetrafluormethan 5.0 (R 14)
| Nebenbestandteile Tetrafluormethan 5.0 (R 14), ppm: | | H2O |  | 1 | | O2 + N2 | | 5 | | CO | | 1 | | CO2 | | 1 | | andere hal. KW | | 5 | | Säure | | 0,1* |
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen |
| Umrechnungszahlen Tetrafluormethan |
m³ Gas
(15 °C, 1 bar) | Liter
flüssig bei Ts | kg | | 1 | 2,303 | 3,692 | | 0,434 | 1 | 1,603 | | 0,271 | 0,624 | 1 |
| Kennzeichnung Tetrafluormethan 5.0 (R 14) | | Flaschenschulter: | Leuchtendes Grün RAL 6018 | | Aufkleber: | Tetrafluormethan 5.0
| Ventilanschluss:
| W 21,80 x 1/14 nach DIN 477 Nr. 6
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| Eigenschaften Tetrafluormethan | Verdichtetes Gas, erstickend
| | | AWG-Wert: | nicht festgelegt | | Chemisches Zeichen: | CF4 | | Molare Masse: | 88.010 g/mol | | Kritische Temperatur: | 227.7 K (-45.45 °C) | | Siedetemperatur bei 1,013 bar (Ts): | 145.21 K (-127.94 °C) | | Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar): | 3.050 |
| Anwendungen Tetrafluormethan 5.0 (R 14) | - Trockenätzen von Halbleitermaterialien und Metallen (z.B. Plasmaätzen von SiO2, Si3N4)
- Abtragen (Strippen) von Photolacken
- Reinigen von Bohrlöchern
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Gemische von Tetrafluormethan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.
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