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Linde Gas Deutschland

Spezialgase & Hardware

Siliciumtetrafluorid 4.8

Allgemeine Definitionen

Farbkennzeichung Gasflaschen

Fachschulung Spezialgase

Siliciumtetrafluorid 4.8


	Reinheit, %:	> 99,998


	Download:	Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblätter im Kundenportal Linde Gas DIREKT

	Angebot:	Angebot anfordern

Nebenbestandteile Siliciumtetrafluorid 4.8, vpm (in der Gasphase):
O₂		3
N₂		3
CO		3
CO₂		3
CH₄		10
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung
Zu diesem Produkt ist eine Konformitätserklärung in unserem Kundenportal unter http://www.linde-gas.de/direkt online verfügbar.

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Siliciumtetrafluorid 4.8
	Rauminhalt, Liter	Füll- druck, ca. bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	18	0,2
Stahlflasche	10	18	1
Stahlflasche	50	63	22,7
Stahlflasche	50	18	5

Umrechnungszahlen Siliciumtetrafluorid

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	2,643	4,388
0,378	1	1,66
0,228	0,602	1

Kennzeichnung Siliciumtetrafluorid 4.8
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Siliciumtetrafluorid 4.8
Ventilanschluss:	1 DIN 477 Nr. 8

Eigenschaften Siliciumtetrafluorid
Verdichtetes Gas, ätzend, giftig
AWG-Wert:	0,8 ppm (TLV)
Chemisches Zeichen:	SiF₄
Molare Masse:	104.08 g/mol
Kritische Temperatur:	259 K (-14.15 °C)
Sublimationstemperatur bei 1,013 bar:	177.95 K (-95.2 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	3.626

Anwendungen Siliciumtetrafluorid 4.8

Abscheiden von fluoriertem Siliciumoxid
Ionenimplantation
Trockenätzen von Halbleitermaterialien

Andere Lieferformen Siliciumtetrafluorid

Gemische von Siliciumtetrafluorid mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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