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Linde Gas Deutschland

Spezialgase & Hardware

Phosphin 5.0

Allgemeine Definitionen

Farbkennzeichung Gasflaschen

Fachschulung Spezialgase

Phosphin 5.0


	Reinheit, %:	> 99,999


	Download:	Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblätter im Kundenportal Linde Gas DIREKT

	Angebot:	Angebot anfordern

Nebenbestandteile Phosphin 5.0, ppm:
H₂O		1
O₂		1
N₂		3
CO		1
CO₂		1
KW		2
AsH₃		2
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung
Zu diesem Produkt ist eine Konformitätserklärung in unserem Kundenportal unter http://www.linde-gas.de/direkt online verfügbar.

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Phosphin 5.0
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	34,6	0,3
Stahlflasche	10	34,6	1

Umrechnungszahlen Phosphin

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	1,935	1,432
0,517	1	0,74
0,698	1,351	1

Kennzeichnung Phosphin 5.0
Flaschenschulter:	Gelb RAL 1018
Aufkleber:	Phosphin 5.0
Ventilanschluss:	W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1

Eigenschaften Phosphin
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, umweltgefährlich, ätzend, sehr giftig, selbstentzündlich an der Luft
AWG-Wert:	0.1 ppm
Chemisches Zeichen:	PH₃
Molare Masse:	33.998 g/mol
Kritische Temperatur:	325.05 K (51.9 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	185.4 K (-87.77 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	1.180

Anwendungen Phosphin 5.0

Dotierung von Silicium durch Epitaxie, Diffusion oder Ionenimplantation. Dazu werden bervorzugt Gemische mit H₂, Ar, He oder N₂ verwendet (Dotiergasgemische)
Dotierung von Si und SiO₂ während der Abscheidung (CVD)
Herstellung von GaP, GaAsP oder InP Halbleitern

Andere Lieferformen Phosphin

Gemische von Phosphin mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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