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Linde Gas Deutschland

Spezialgase & Hardware

Disilan 4.8

Allgemeine Definitionen

Farbkennzeichung Gasflaschen

Fachschulung Spezialgase

Disilan 4.8


	Reinheit, %:	> 99,998


	Download:	Produktdatenblatt Download Sicherheitsdatenblätter im Kundenportal Linde Gas DIREKT

	Angebot:	Angebot anfordern

Nebenbestandteile Disilan 4.8, ppm:
H₂O		1
O₂		1
N₂		4
Chlorsilane		0,2
CO₂		1
KW		1
Angaben sind als ideale Volumenanteile (= Molanteile) zu verstehen

Konformitätserklärung
Zu diesem Produkt ist eine Konformitätserklärung in unserem Kundenportal unter http://www.linde-gas.de/direkt online verfügbar.

Empfohlene Armaturen:
	auf Anfrage

Lieferarten Disilan 4.8
	Rauminhalt, Liter	Dampfdruck bei 20°C, bar	Füllmenge, kg
Stahlflasche	2	2,3	0,1
Stahlflasche	10	2,3	0,5

Umrechnungszahlen Disilan

m³ Gas (15 °C, 1 bar)	Liter flüssig bei T_s	kg
1	2,957	2,664
0,338	1	0,901
0,375	1,11	1

Kennzeichnung Disilan 4.8
Flaschenschulter:	Rot RAL 3000
Aufkleber:	Disilan 4.8
Ventilanschluss:	W 21,80 x 1/14 LH nach DIN 477 Nr. 1

Eigenschaften Disilan
Unter Druck verflüssigtes Gas, hochentzündlich, selbstentzündlich an der Luft
AWG-Wert:	nicht festgelegt
Chemisches Zeichen:	Si₂H₆
Molare Masse:	62.220 g/mol
Kritische Temperatur:	424 K (150.85 °C)
Siedetemperatur bei 1,013 bar (T_s):	258.85 K (-14.3 °C)
Relative Dichte bezogen auf trockene Luft (15°C, 1 bar):	2.200

Anwendungen Disilan 4.8

Abscheidung von kristallinen Silicium-Schichten (Epitaxie)
Niedertemperatur-CVD

Andere Lieferformen Disilan

Gemische von Disilan mit anderen Gasen in genau definierten Zusammensetzungen.

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