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Liste aller Elektronikgase

4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5

  

Zusammensetzung:

Sauerstoff (O2): 4-15%
Rest: Tetrafluormethan (CF4)
Herstelltoleranz (relativ), Analysengenauigkeit (relativ), Stabilität (Monate)
  
  
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Lieferarten 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5



Rauminhalt, Liter

Füll- druck, ca. bar 

Füllmenge, m³
 
Stahlflasche 50   110  5,5 

Kennzeichnung 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
Flaschenschulter: Leuchtendes Grün RAL 6018
Aufkleber: 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
Ventilanschluss:
M 19 x 1,5 LH nach DIN 477 Nr. 14

Anwendungen 4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
Plasmaätzen von Silicium.

Andere Lieferformen Sauerstoff in Tetrafluormethan


Gasgemische und Prüfgase in kundenspezifischer Zusammensetzung als auch in weiteren Gebindegrößen.



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Produktgruppe Produkt
Ammoniak   Ammoniak 4.5
 Ammoniak 5.0
 Ammoniak 6.0
 Ammoniak 6.0 Opto
Arsin   Arsin 5.0
Bortrichlorid   Bortrichlorid 4.0
 Bortrichlorid 5.0
Bortrifluorid   Bortrifluorid 2.5
Bromwasserstoff   Bromwasserstoff 4.5
 Bromwasserstoff 5.0
Chlor   Chlor 5.0
Chlorwasserstoff   Chlorwasserstoff 4.5
 Chlorwasserstoff 5.0
 Chlorwasserstoff 5.5
Dichlorsilan   Dichlorsilan 2.0
 Dichlorsilan 3.0
Difluormethan   Difluormethan 3.0 (R 32)
Disilan   Disilan 4.8
Distickstoffmonoxid
Stickoxydul
   Distickstoffmonoxid 5.0
Fluormethan   Fluormethan 2.5 (R 41)
German   German 5.0
Hexafluor-1,3-butadien   Hexafluor-1,3-butadien 2.6
Hexafluorethan   Hexafluorethan 5.0 (R 116)
Octafluorcyclobutan   Octafluorcyclobutan 4.8 (R C318)
Octafluorpropan   Octafluorpropan 4.0 (R 218)
Octafluortetrahydrofuran   Octafluortetrahydrofuran 2.5
Phosphin   Phosphin 5.0
Schwefelhexafluorid   Schwefelhexafluorid 4.5
 Schwefelhexafluorid 5.0
Silan   Silan 5.0
Siliciumtetrafluorid   Siliciumtetrafluorid 4.8
Stickstofftrifluorid   Stickstofftrifluorid 4.0
 Stickstofftrifluorid 4.5
Tetrafluormethan   Tetrafluormethan 3.5 (R 14)
 Tetrafluormethan 4.5 (R 14)
 Tetrafluormethan 5.0 (R 14)
Trifluormethan   Trifluormethan 4.8 (R 23)
 Trifluormethan 5.0 (R 23)








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