ElektronikindustrieVon der Mikro- zur Nanoelektronik - Spezialgase begleiten.
Der Chip ist im 21. Jahrhundert ein fester Bestandteil unseres Alltags geworden. Halbleiterbauteile unterstützen Fahrzeugführer in schwierigen Verkehrssituationen, ermöglichen die drahtlose Telekommunikation und bereiten uns audiovisuelles Vergnügen.
Die Halbleiterproduktion ist einer der Bereiche mit hohem Wachstumspotenzial und relativ kurzen Innovationszyklen.
Mit ständiger Produktentwicklung trägt Linde Gas deren steigenden Ansprüchen Rechnung und ist in der Lage, auch höchsten Spezifikationen gerecht zu werden.
Außer in der Mikroelektronik werden Elektronikgase auch in anderen Bereichen der Hochtechnologie eingesetzt, wie beispielsweise in der Lichtwellenleiter- und LED-Produktion, bei der Oberflächenbeschichtung von Werkstoffen oder in der Sensor- und Solarzellenherstellung.
Durch die Lieferung von Spezialgasen höchster Reinheit und spezifischer Zusammensetzung bis zum Point of Use unterstützen wir Sie bei der Optimierung ihrer Prozesse und dem Erhalt Ihrer Wettbewerbsfähigkeit.
Linde Gas ist führender Gasanbieter in der Halbleiter- und Elektronikindustrie.
Hier finden Sie eine Zusammenstellung an typischen Gasen für die unterschiedlichsten Anwendungen.
Informieren Sie sich über die gewünschte Produktspezifikation und stellen Sie über unsere Warenkorbfunktion eine Anfrage an uns. Sollte ihr gewünschtes Produkt nicht in der Liste erscheinen, steht Ihnen im Bereich Kontakt ein Formular zur Verfügung.
Weitere Informationen zu Gasen und Gasgemischen für die Elektronikindustrie finden Sie bei Linde Nippon Sanso.
Die Elektronikindustrie ist eine der Branchen mit hohen Wachstumsraten und relativ kurzen Innovationszyklen. Durch die dramatisch wachsende Integrationsdichte und die immer kleiner werdenden Strukturbreiten integrierter Schaltungen ergeben sich bei deren Herstellung ständig höhere Anforderungen an die Reinheit der verwendeten Materialien.
Mit ständiger Produktentwicklung trägt Linde diesen steigenden Ansprüchen in der Mikroelektronik Rechnung und ist somit in der Lage, auch höchsten Anforderungen gerecht zu werden. Durch die Lieferung von Gasen höchster Reinheit bis zum "point of use" unterstützen wir unsere Kunden bei der Optimierung ihrer Prozesse.
Außer in der Mikroelektronik werden Elektronikgase auch in anderen Bereichen der Hochtechnologie eingesetzt, wie z.B. in der Lichtwellenleiterproduktion, in der Oberflächenbeschichtung von Werkstoffen z.B. Gläsern oder in der Sensor- und Solarzellenherstellung
Elektronikindustrie - Beispiele für Gasgemische in der Elektronikindustrie
Produktbezeichnung
Zusammensetzung | Farbe
Flaschenschulter
Ventilanschluss nach DIN 477 | Flaschengrösse Rauminhalt Liter | Füllmenge m³ | Anwendung | 15% Arsin
Rest Wasserstoff | Gelb
W 21,80 x 1/14 LH | 0,38 | 19 l | Ionenimplantation | 15% Phosphin
Rest Wasserstoff | Gelb
W 21,80 x 1/14 LH | 0,38 | 19l | Ionenimplantation | 0,4 ppm Phosphin
Rest Stickstoff | Leuchtendes Grün
M 19 x 1,5 LH | 10 | 1,5 | Kalibrierung von MAK-Sensoren | 4 - 15% Sauerstoff
in Tetrafluormethan | Leuchtendes Grün
M 19 x 1,5 LH | 50 | 5,5 | Plasmaätzen von Silicium | | 20-100 vpm Phosphin in Wasserstoff | Rot
W 21,80 x 1/14 LH | 40 | 6 | Dotierung | | 1-2% Silan in He, N2 oder H2 | Rot
W 21,80 x 1/14 LH | 50 | 7,5 | Abscheidung von Silicium | | 1-2% German in H2 | Rot
W 21,80 x 1/14 LH | 50 | 7,5 | Abscheidung von Si-Ge-Schichten |
Liste aller Gase für Elektronikindustrie
| Produktgruppe | | Produkt | | Arsin in Wasserstoff | |
 15 % Arsin, Rest Wasserstoff
| | German in Wasserstoff | |
1-2 % German, Rest Wasserstoff
| | Helium in Stickstoff | |
1,2 % Helium, Rest Stickstoff
| | Phosphin in Stickstoff | |
0,4 ppm Phosphin, Rest Stickstoff
| | Phosphin in Wasserstoff | |
20-100 ppm Phosphin, Rest Wasserstoff
15 % Phosphin, Rest Wasserstoff
| | Sauerstoff in Tetrafluormethan | |
4-15 % Sauerstoff, Rest Tetrafluormethan 3.5
| | Silan in Helium | |
1-2 % Silan, Rest Helium
| | Silan in Stickstoff | |
1-2 % Silan, Rest Stickstoff
| | Silan in Wasserstoff | |
1-2 % Silan, Rest Wasserstoff
| | Stickstoff in Helium | |
0,52 % Stickstoff in Helium
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Liste aller Elektronikgase
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