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FMD 510-21 | |  Produktdatenblatt (PDF)
| Membran-Druckminderer
einstufig
für Absolutdruck
hohe Regelgenauigkeit
mit Fremdgasspülung
für verflüssigte korrosive Gase mit einem Dampfdruck bis max. 12 bar bis Reinheit 6.0 | | Anwendung: | Für die Forschung und Entwicklung in der Vakuum-, Halbleiter- und Oberflächentechnik, sowie für alle Anwendungen, die korrosive Reingase mit einem Dampfdruck unter 12 bar im Vakuum bzw. in einem Druckbereich von 0 ? 3 bar (abs) benötigen. Das Absperrventil erlaubt die Absperrung/Öffnung des Gasstroms unter Beibehaltung der Druckminderereinstellung. |
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| Technische Daten | Hinterdruckbereich(e): | 0,1 ? 2 / 0,3 ? 3 bar (abs) | Nenndruck: | 12 bar | Gasreinheit: | < 6.0 | Leckrate: | < 10-9/10-6 mbar l/s | Werkstoff Gehäuse: | Edelstahl, integrierter Partikelfilter | Werkstoff Sitzdichtung: | FFKM | Werkstoff Membran: | Hastelloy C | Manometer: | Sicherheitsausführung nach EN 562, Meßklasse 2,5,
Nenngröße 50 mm,
Anzeigebereich -1 ? 3 bar,
Option 0 ? 600 mbar | Ventil: | Membran-Absperrventil MVA 500 | Betriebstemperatur: | -20 ? 70 °C | Gewicht: | 1,7 kg | Maße (B x H x T): | 202 x 200 x 155 mm | Flaschenanschluß: | Schlüsselanschluß nach DIN 477 |
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