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FMD 502-21 | |  Produktdatenblatt (PDF)
| Membran-Druckminderer
zweistufig
mit Fremdgasspülung für korrosive Gase bis Reinheit 6.0 und korrosive Gasgemische | | Anwendung: | Für die Forschung und Entwicklung in der Halbleiter- und Oberflächentechnik. Die zweistufige Ausführung gewährleistet einen konstanten Hinterdruck unabhängig vom Flaschendruck. Das Absperrventil erlaubt die Absperrung/Öffnung des Gasstroms unter Beibehaltung der Druckminderereinstellung. |
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| Technische Daten | Hinterdruckbereich(e): | 0,2 ? 3 / 0,5 ? 6 / 1 ? 12 bar | Nenndruck: | 200 bar | Gasreinheit: | < 6.0 | Leckrate: | < 10-9/10-6 mbar l/s | Werkstoff Gehäuse: | Edelstahl, integrierter Partikelfilter | Werkstoff Sitzdichtung: | PCTFE | Werkstoff Membran: | Hastelloy C | Manometer: | Sicherheitsausführung nach EN 562, Meßklasse 2,5,
Nenngröße 50 mm,
Anzeigebereiche 0 ? 315 / -1 ? 5 /
-1 ? 10 / -1 ? 18 bar | Ventil: | Membran-Absperrventil MVA 500 | Betriebstemperatur: | -20 ? 70 °C | Gewicht: | 1,7 kg | Maße (B x H x T): | 202 x 200 x 155 mm | Flaschenanschluß: | Schlüsselanschluß nach DIN 477 |
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